用微机械加工技术制造的典型产品是硅微型压力米乐m6
,对此美国日本和欧洲均已形成产业。硅米乐m6:微型压力米乐m6
近几年来发展很快,该米乐m6
主要应用于汽车工业和医疗保健领域。
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的特点是体积小,重量轻,没有活动部件,可靠性高,又能大规模生产该米乐m6
,所以造价低。高可靠性,低成本对于汽车工业的要求可以说是 非常适合的,因此在汽车工业中迅速扩展了它的应用领域。如自动刹车系统的压车面压力,轮胎压力,气囊压力,传动系统流体压力,注入系统流体压力,注入燃料 压力,发动机机油压力。进气管道压力都有硅微型压力米乐m6
额用武之地。
甚至有一些制造商采用微机械加工技术将压力米乐m6
直接埋入轮胎当中。它能在汽车轮胎压力很低或轮胎在跑气时向司机报警。当前汽车行业非常活跃,每年的生产量高达几千万辆,因此这也是一个极有前途的市场。
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在医疗保健领域里的最大应用产品是血压监视器。据称一些大的医疗机械制造上每年要使用近500万只压力米乐m6
。此外,如妇女难产时监控 子宫压力用的硅微型压力米乐m6
,静脉注射监控药液流动的米乐m6
等都是有相当数量的市场需求。其他许多医疗保健方面的应用也正在不断开发中。
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基本上分成两类:电容式和压阻式。电容式的压力米乐m6
包括一个薄膜,它作为可变空气电容器的一个极板,当薄膜上承受压力时,薄膜产生位 移,从而改变电容值,利用这种变化经过相应的电路处理,就可得到压力值。压阻式米乐m6
使用硅材料承受压力时会产生电阻变化的原理制成,一般将4个硅材料的 应变电阻构成惠斯通电桥来测量压力。
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